RPS-SONIC: un punto di riferimento per l'industrializzazione della spruzzatura con atomizzazione a ultrasuoni di film sottili TCO

Nell'ondata di industrializzazione della tecnologia di preparazione della pellicola conduttiva trasparente TCO, RPS-SONIC, con la sua ricerca e sviluppo tecnologico mirato e la progettazione basata su scenari-, ha reso le sue apparecchiature di spruzzatura con atomizzazione a ultrasuoni una scelta fondamentale nel settore fotovoltaico, display ed edilizia. Non solo soddisfa i requisiti fondamentali del settore in termini di "elevata trasmittanza luminosa, bassa resistenza del foglio ed efficienza ecologica", ma promuove anche la transizione della preparazione del film sottile TCO dal laboratorio alla produzione su larga-scala attraverso un controllo preciso dei parametri e un funzionamento stabile.

L'apparecchiatura di spruzzatura per atomizzazione a ultrasuoni RPS-SONIC, basata sulla tecnologia di atomizzazione a vibrazione ad alta-frequenza, ha formato una matrice di prodotti differenziata per le esigenze di preparazione del film sottile TCO, con le sue caratteristiche tecnologiche principali che mostrano un'adattabilità particolarmente eccezionale alla preparazione TCO. L'apparecchiatura adotta principalmente due schemi di vibrazione ad alta-frequenza: 40kHz e 60kHz. Tra questi, l'ugello di nebulizzazione a ultrasuoni focalizzato a 40 kHz, attraverso uno speciale design del canale di flusso di costrizione, può far sì che il gas vettore raccolga e atomizzi uniformemente la soluzione precursore TCO (come ITO, AZO, FTO sol) in goccioline uniformi di 15-40μm. L'errore di uniformità della distribuzione delle gocce è controllato entro ±3%, che corrisponde perfettamente ai requisiti precisi di spessore delle pellicole TCO da 10 nm-500 nm. Per le soluzioni precursori TCO a bassa-viscosità (0 cps), l'apparecchiatura raggiunge un controllo preciso del flusso di 0,5-20 ml/min. Combinato con un'altezza di spruzzo regolabile di 30-80 mm e un design della guida del flusso a bassa pressione di 0,5 MPa, evita i problemi di spruzzi di gocce della tradizionale spruzzatura a pressione garantendo al tempo stesso una densa deposizione di gocce sulla superficie del substrato. Ciò si traduce in fluttuazioni della resistenza del foglio di pellicola TCO controllate entro ±5% e una trasmittanza della luce visibile stabilizzata all'85%-95%, soddisfacendo pienamente i requisiti prestazionali di applicazioni di fascia alta come celle fotovoltaiche e display flessibili.

Basandosi sui principali vantaggi della preparazione della pellicola TCO, RPS-SONIC amplifica ulteriormente il valore industriale della tecnologia di atomizzazione a ultrasuoni. In primo luogo, l'attrezzatura offre vantaggi significativi nell'utilizzo dei materiali e nel controllo dei costi. Attraverso la "atomizzazione senza pressione" e il design di spruzzatura mirata, il tasso di utilizzo della soluzione precursore TCO arriva fino al 90%, risparmiando oltre l'80% del consumo di materiale rispetto ai tradizionali processi di sputtering con magnetron. Ciò è particolarmente vantaggioso nella preparazione di film sottili ITO, dove le risorse di indio sono scarse, poiché riduce significativamente la perdita di metalli preziosi, abbassando così i costi di produzione per le imprese. In secondo luogo, mostra una compatibilità del substrato estremamente forte. L'apparecchiatura utilizza un'energia cinetica delle goccioline molto bassa durante l'atomizzazione, che rappresenta un tipico processo di preparazione a bassa-temperatura. Ciò lo rende adatto non solo per substrati rigidi come wafer di vetro e silicio, ma anche per substrati flessibili come PET e PI. Ciò risolve i punti critici dei processi tradizionali nella preparazione di film sottili TCO flessibili, che portano facilmente alla deformazione del substrato e al degrado delle prestazioni, fornendo una soluzione affidabile per la produzione di film sottili TCO in campi come display OLED flessibili e dispositivi indossabili. In terzo luogo, combina scalabilità e stabilità. L'attrezzatura supporta gruppi di ugelli multipli-con una larghezza di spruzzo singola di 1-3 metri. Combinato con un design a potenza regolabile di 10-100 W, può soddisfare le esigenze di ricerca e sviluppo in piccoli-lotti nei laboratori, nonché la produzione su larga scala di dispositivi di grandi dimensioni come moduli fotovoltaici e vetro architettonico. Inoltre, l'attrezzatura non ha parti mobili soggette a usura e gli ugelli sono meno soggetti a intasamenti, riducendo i tempi di fermo produzione e garantendo la stabilità della produzione continua.

In termini di applicazione industriale, l'apparecchiatura di spruzzatura a atomizzazione a ultrasuoni RPS-SONIC ha stabilito diversi casi di riferimento nel campo della preparazione di film sottili TCO. Nell'industria fotovoltaica, le sue apparecchiature vengono utilizzate per spruzzare lo strato conduttivo trasparente AZO/TCO delle celle solari in perovskite. Controllando con precisione la dimensione delle goccioline e la velocità di deposizione, l'efficienza di conversione fotoelettrica delle celle viene migliorata di 2-3 punti percentuali. Attualmente, è entrata nella linea pilota di celle tandem a eterogiunzione di silicio a livello di perovskite da 1 GW-di un'azienda fotovoltaica nazionale leader, contribuendo a raggiungere una produzione di massa su larga scala. Nel campo dei display, per la preparazione di pellicole composite ITO/PET per schermi OLED flessibili, l'apparecchiatura può comunque garantire che il tasso di variazione della resistenza del foglio della pellicola TCO sia inferiore al 10% e che la trasmissione della luce rimanga superiore al 92% su un substrato flessibile con un raggio di curvatura di 5 mm.

Ciò aiuta i produttori a valle a migliorare la resa degli schermi flessibili dal 75% con i processi tradizionali all’88%, diventando un supporto fondamentale per le apparecchiature della catena industriale dei display flessibili. Nel campo del vetro intelligente architettonico, l'apparecchiatura viene utilizzata per la spruzzatura di pellicole conduttive trasparenti AZO per vetro elettrocromico, ottenendo un controllo dell'errore di spessore di ±2 nm. Ciò si traduce in una velocità di risposta elettrocromica inferiore o uguale a 10 secondi e una durata di oltre 100.000 cicli. Allo stesso tempo, l'elevata trasmissione della luce e la resistenza alla corrosione della pellicola garantiscono il-funzionamento stabile a lungo termine del vetro intelligente e sono stati applicati alla produzione di finestre intelligenti in molti-progetti edilizi di fascia alta in patria e all'estero. Inoltre, l'attrezzatura di Hangzhou Gonglu vanta un'eccezionale versatilità, consentendo non solo la tradizionale preparazione del film sottile TCO ma anche la spruzzatura composita di film funzionali come rivestimenti anti-appannamento e anti-corrosione con strati TCO. Ad esempio, può spruzzare contemporaneamente uno strato conduttivo trasparente FTO e un rivestimento antivegetativo sulla superficie del vetro fotovoltaico, migliorando ulteriormente le prestazioni complessive del dispositivo. In futuro, con la promozione di materiali TCO privi di indio- (come AZO e GZO) e l'integrazione della tecnologia di ispezione visiva AI, si prevede che le apparecchiature di Hangzhou Gonglu raggiungeranno obiettivi prestazionali ancora più elevati, tra cui una trasmissione luminosa superiore al 98% e una resistenza del foglio inferiore a 5Ω/□, guidando continuamente l'ecologizzazione e il perfezionamento della tecnologia di preparazione del film sottile TCO.

In quanto punto di riferimento industriale nel campo della spruzzatura con atomizzazione a ultrasuoni, l'attrezzatura RPS-SONIC, con il suo controllo preciso dei parametri, il funzionamento stabile e l'ampia adattabilità delle applicazioni, fornisce il supporto fondamentale per la produzione su larga-scala e di alta-qualità di pellicole conduttive trasparenti TCO. Le sue soluzioni tecniche non solo soddisfano le attuali esigenze di sviluppo dell'industria optoelettronica, ma in futuro svolgeranno anche un ruolo cruciale nell'innovazione tecnologica in campi emergenti come l'elettronica flessibile e la nuova energia.